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半導体薬液洗浄装置のインライン用！フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター
『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。 【特長】 ■接液部分は全てPFAを使用 ■低ワット密度の設計で長寿命 ■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能 ■コンパクトなので設置が容易 ■縦・横に設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流動変動や衝撃に強い！半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター
『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。 また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を 有効利用できます。 【特長】 ■接液部には全てPFAを使用 ■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない ■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵 ■流動変動や衝撃に強い ■コンパクト設計により設置が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
